Эпітасія

ОАО «Інтэграл»-кіруючая кампанія холдынгу «Інтэграл» мае абсталяванне, якое дазваляе вырабляць эпітаксіяльныя структуры для розных ужыванняў.

Мы можам вырабляць эпітаксіяльныя структуры як на ўласных пласцінах, так і на пласцінах заказчыка.

Па замове спажыўца магчыма нарошчванне эпитаксиальных пластоў крэмнія на пласцінах са ўтоенымі пластамі (іённа-легаваныя і дыфузійныя структуры).

Параметр, адзінка вымярэння	Значэнне
Дыяметр падкладкі, мм	100, 150
Арыентацыя	(111), (100)
Легіруючая прымешка падкладкі	Сурма, Бор
Таўшчыня эпітаксіяльнага пласта, мкм	3,0 – 15
Легирующая примесь эпитаксиального слоя	Фосфар
Удзельны супраціў эпітаксіяльнага пласта, Ом•гл	n-тып 0,5 – 5,0
Тыпы аднаслаёвых структур	n-n+, n-p+
Эпітасія на пласцінах са ўтоенымі пластамі	да 2-х утоеных пластоў

ОАО "ІНТЭГРАЛ" таксама прапануе выраб ІМС і паўправадніковых прыбораў на аснове канструкцыі Заказчыка (пастаўка па выніках функцыянальнага кантролю), паслугі паўправадніковай вытворчасці - выкананне асобных тэхналагічных аперацый або блокаў аперацый (напыленне металаў, асаджэнне плёнак, вырошчванне эпітаксіяльных пластоў, утаненне зваротнага боку пласціны і т. п.), выраб зыходных крамянёвых падкладак па спецыфікацыі Замоўца, зборка і вымярэнне прыбораў у пластмасавых і металакерамічных карпусах.