Эпітасія
ОАО «Інтэграл»-кіруючая кампанія холдынгу «Інтэграл» мае абсталяванне, якое дазваляе вырабляць эпітаксіяльныя структуры для розных ужыванняў.
Мы можам вырабляць эпітаксіяльныя структуры як на ўласных пласцінах, так і на пласцінах заказчыка.
Па замове спажыўца магчыма нарошчванне эпитаксиальных пластоў крэмнія на пласцінах са ўтоенымі пластамі (іённа-легаваныя і дыфузійныя структуры).
| Параметр, адзінка вымярэння | Значэнне |
|---|---|
| Дыяметр падкладкі, мм | 100, 150 |
| Арыентацыя | (111), (100) |
| Легіруючая прымешка падкладкі | Сурма, Бор |
| Таўшчыня эпітаксіяльнага пласта, мкм | 3,0 – 15 |
| Легирующая примесь эпитаксиального слоя | Фосфар |
| Удзельны супраціў эпітаксіяльнага пласта, Ом•гл | n-тып 0,5 – 5,0 |
| Тыпы аднаслаёвых структур | n-n+, n-p+ |
| Эпітасія на пласцінах са ўтоенымі пластамі | да 2-х утоеных пластоў |
ОАО "ІНТЭГРАЛ" таксама прапануе выраб ІМС і паўправадніковых прыбораў на аснове канструкцыі Заказчыка (пастаўка па выніках функцыянальнага кантролю), паслугі паўправадніковай вытворчасці - выкананне асобных тэхналагічных аперацый або блокаў аперацый (напыленне металаў, асаджэнне плёнак, вырошчванне эпітаксіяльных пластоў, утаненне зваротнага боку пласціны і т. п.), выраб зыходных крамянёвых падкладак па спецыфікацыі Замоўца, зборка і вымярэнне прыбораў у пластмасавых і металакерамічных карпусах.