3-5 В, 0.5 мкм КМОП, 2 ПКК, 3 металла пл. 200 мм

Галоўная

Прадукцыя

Тэхналогіі

КМАП

3-5 В, 0.5 мкм КМОП, 2 ПКК, 3 металла пл. 200 мм

Тэхнічныя характарыстыкі
Набыццё і тэхнічная падтрымка

Параметр	Значэнне
Характеристика процесса	Кол-во фотолитографий, шт. 18 Проектная норма, мкм 0.5 Подложка: Эпитаксиальная структура КДБ(6-15) на КДБ 0,007-0,020(100) N карман, Глубина в активной области, мкм 1,0 Подзатворный SiO2, Å 120 шаг ПКК, мкм 1.5 длина канала NMOS/PMOS, мкм 0.6/0.6 N и P LDD- стоки ПКК резистор Конденсаторы ПКК1 – ПКК2 Конденсаторный диэлектрик СТО, Å 300 Силицид контакты 1 (заполнены W), мкм 0.6 Межслойный диэлектрик: SACVD SiO2 + ПХ ТЭОС, мкм 1,05 металл I, 2 Ti/AlCu / Ti /TiN шаг по металлу 1, мкм 1.6 шаг по металлу 2, мкм 1.7 металл 3 /Ti/AlCu контакты 2, 3 (заполнены W), мкмø 0.7 шаг по металлу 3, мкм 2.2
Применение, элементная база	Часовые ИС с Епит от 2 до 5.5 В NMOS: Vtn=0.6 В, Usd >7 В PMOS: Vtр=-0.6 В, Usd >7 B

Параметр

Значэнне

Характеристика процесса

Кол-во фотолитографий, шт.       18

Проектная норма, мкм                 0.5

Подложка: Эпитаксиальная структура
КДБ(6-15) на КДБ 0,007-0,020(100)

N карман,

Глубина в активной области, мкм 1,0

Подзатворный SiO2, Å                 120

шаг ПКК, мкм                                 1.5

длина канала

NMOS/PMOS, мкм                 0.6/0.6

N и P LDD- стоки

ПКК резистор

Конденсаторы ПКК1 – ПКК2

Конденсаторный диэлектрик СТО, Å 300

Силицид

контакты 1 (заполнены W), мкм     0.6

Межслойный диэлектрик:
SACVD SiO2 + ПХ ТЭОС, мкм      1,05

металл I, 2                      Ti/AlCu / Ti /TiN

шаг по металлу 1, мкм                    1.6

шаг по металлу 2, мкм                  1.7

металл 3                                  /Ti/AlCu

контакты 2, 3 (заполнены W), мкмø 0.7

шаг по металлу 3, мкм                  2.2

Применение, элементная база

Часовые ИС с Епит от 2 до 5.5 В

NMOS: Vtn=0.6 В, Usd >7 В
PMOS: Vtр=-0.6 В, Usd >7 B

Заказаць

Парадак, кошт і тэрміны выканання заказаў на пастаўку дробнасерыйных тавараў дадаткова ўзгадняюцца Спажыўцом са службамі маркетынгу і збыту ААТ «ІНТЭГРАЛ» - кіруючай кампаніі холдынга «ІНТЭГРАЛ»

Маркетынг , Аддзел продажаў
Тэл.: .....(+375 17) 272 3729
......(+375 17) 353 2257
Факс:......(+375 17) 353 2257
Адрас электроннай пошты: export@integral.by