Биполярная технология изготовления pnp-транзисторов с областью рабочих напряжений (200-300) В

Биполярная технология изготовления pnp-транзисторов с областью рабочих напряжений (200-300) В

  • Характеристика процесса: питаксиальная структура 
    Подложка                                      КДБ 0,03 (111)
    Толщина эпитаксиального слоя, мкм    40-45
    Удельное сопротивление, Ом x см         40-50
    7 фотолитографий (контактная)
    База: ионная имплантация фосфора,
    глубина, мкм                                                   3-5,5
    Эмиттер: диффузия бора
    Защита p-n перехода коллектор-база SiPOS
    Металлизация: Al 1,4 мкм
    Обр. сторона: Ti-Ni-Ag-Sn-Pb-Sn
  • Применение, элементная база: Uкб=(250-300) B
    Uкэ=(200-250) В
    Iк=(0,4-0,5) А
    h21э>40