Биполярная технология изготовления npn-транзисторов с областью рабочих напряжений (300-700)В
Биполярная технология изготовления npn-транзисторов с областью рабочих напряжений (300-700)В
- Характеристика процесса: Эпитаксиальная структура
Подложка: КЭС 0,01 (111)
Толщина эпитаксиального слоя, мкм 50-80
Удельное сопротивление, Ом-см 40-50
7-8 фотолитографий (контактная)
База: ионная имплантация,
Глубина, мкм 2,8-4,6
Эмиттер: диффузия,
глубина, мкм 1,4-2,8
Защита p-n перехода коллектор-база SiPOS
Металлизация: Al 1,4; 4,5 мкм
Обр. сторона: Ti-Ni-Ag
Пассивация: НТФСС(ПХО) - Применение, элементная база: Uкб=(300-700) B
Uкэ=(300-400) В
Iк=(0,5-8,0) А
h21э=(8-40)