Биполярная технология изготовления npn-транзисторов с областью рабочих напряжений (160-300) В
Биполярная технология изготовления npn-транзисторов с областью рабочих напряжений (160-300) В
- Характеристика процесса: Эпитаксиальная структура
Подложка: КЭС 0,01 (111)
Толщина эпитаксиального слоя, мкм 35,50
Удельное сопротивление, Ом-см 23
7-8 фотолитографий (контактная)
База: ионная имплантация,
глубина, мкм 2,8-4,6
Эмиттер: диффузия,
глубина, мкм 1,4-2,8
Защита p-n перехода коллектор-база SiPOS
Металлизация: Al 1,4 мкм
Обр. сторона: Ti-Ni-Ag(Sn-Pb-Sn)
Пассивация: НТФСС(ПХО) - Применение, элементная база: Uкб=(160-300) B
Uкэ=(160-300) В
Iк=(0,1-1,5) А
h21э>25