Биполярная технология изготовления npn-транзисторов с областью рабочих напряжений (160-300) В

Биполярная технология изготовления npn-транзисторов с областью рабочих напряжений (160-300) В

  • Характеристика процесса: Эпитаксиальная структура 
    Подложка:                                      КЭС 0,01 (111)
    Толщина эпитаксиального слоя, мкм      35,50
    Удельное сопротивление, Ом-см                  23 
    7-8 фотолитографий (контактная)
    База:  ионная имплантация,
    глубина, мкм                                                 2,8-4,6
    Эмиттер: диффузия,
    глубина, мкм                                                 1,4-2,8
    Защита p-n перехода коллектор-база SiPOS
    Металлизация: Al 1,4 мкм
    Обр. сторона: Ti-Ni-Ag(Sn-Pb-Sn)
    Пассивация:  НТФСС(ПХО)
  • Применение, элементная база: Uкб=(160-300) B
    Uкэ=(160-300) В
    Iк=(0,1-1,5) А
    h21э>25